氣體減壓器,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低漏率;適用于超高純度氣體,半導體用(毒、腐)氣體,滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。具有卓越的重復性,穩(wěn)定性,靈敏度和非凡的響應階躍功能變化。